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【企业动态】“软X射线/极紫外无谐波光栅单色仪”
时间:2021.08.23

  项目完成单位介绍:

    中国工程物理研究院激光聚变研究中心是我国从事激光驱动惯性约束聚变研究的专业研究机构,是某国家重大科技专项专项研究的主体实施单位。多年来,围绕激光间接驱动惯性约束聚变和武器物理研究应用需求,在高能量密度物理、强辐射源技术、高功率激光、高精密光学元器件加工制造和X射线光学等多个研究领域成绩斐然,取得了一系列重要成果。

获奖项目介绍:

    “软X射线/极紫外无谐波光栅单色仪”项目荣获第七届中国光学工程学会科技创新奖-科技进步奖一等奖。本项目是近年来中工程物理研究院激光聚变研究中心在X射线光学技术领域取得的系列重要成果之一。瞄准惯性约束聚变、同步辐射、空间科学和材料科学研究等国家重大应用需求,在“X射线单级衍射光栅”技术发明取得关键成功和技术突破的基础上,中物院激光聚变研究中心有关科技人员2010~2011年间提出了探索、研发“软X射线/极紫外无谐波光栅单色仪”的建议。该建议随即得到了中科院微电子研究所、同济大学和清华大学等国内优势技术力量同行的积极响应与配合,并于2012年10月得到了科技部重点研发计划国家重大仪器设备开发专项的支持。

    在重仪专项的支持下,项目团队攻克了大面积X射线反射式单级衍射光栅、大口径X射线反射镜研制,X射线复杂光学系统设计继承等关键技术,于2015年10月研制成功了首台“软X射线/极紫外无谐波光栅单色仪”原理样机,改写了传统软X射线/极紫外光栅单色仪均存在高次谐波污染的历史现状。在此基础上,项目团队进一步开展了该款仪器设备的工程化、产业化开发,建立了响应的标准工艺流程、企业标准等质量管理体系,形成了面向用户定制需求的小批量生产能力。

    项目成果在惯性约束聚变、同步辐射、空天探测技术和国防特种材料分析领域得到了重要应用。项目研制的“软X射线/极紫外无谐波光栅单色仪”已分别装备于ICF研究当地X射线光学元件标定平台、空间探测EUV地面定标系统和国防特种材料UPS分析系统等。以“软X射线/极紫外无谐波光栅单色仪”为基础,在北京同步辐射光源13号厅研制建立了国际首条EUV无谐波束线。项目成果还分别服务于中科院-欧空局合作SMAIL计划、航天五院脉冲星导航有关项目、高能量密度物理研究中德某合作项目等等,发挥重要作用。






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