“软X射线/极紫外无谐波光栅单色仪”项目荣获第七届中国光学工程学会科技创新奖-科技进步奖一等奖。本项目是近年来中工程物理研究院激光聚变研究中心在X射线光学技术领域取得的系列重要成果之一。瞄准惯性约束聚变、同步辐射、空间科学和材料科学研究等国家重大应用需求，在“X射线单级衍射光栅”技术发明取得关键成功和技术突破的基础上，中物院激光聚变研究中心有关科技人员2010~2011年间提出了探索、研发“软X射线/极紫外无谐波光栅单色仪”的建议。该建议随即得到了中科院微电子研究所、同济大学和清华大学等国内优势技术力量同行的积极响应与配合，并于2012年10月得到了科技部重点研发计划国家重大仪器设备开发专项的支持。

    在重仪专项的支持下，项目团队攻克了大面积X射线反射式单级衍射光栅、大口径X射线反射镜研制，X射线复杂光学系统设计继承等关键技术，于2015年10月研制成功了首台“软X射线/极紫外无谐波光栅单色仪”原理样机，改写了传统软X射线/极紫外光栅单色仪均存在高次谐波污染的历史现状。在此基础上，项目团队进一步开展了该款仪器设备的工程化、产业化开发，建立了响应的标准工艺流程、企业标准等质量管理体系，形成了面向用户定制需求的小批量生产能力。

    项目成果在惯性约束聚变、同步辐射、空天探测技术和国防特种材料分析领域得到了重要应用。项目研制的“软X射线/极紫外无谐波光栅单色仪”已分别装备于ICF研究当地X射线光学元件标定平台、空间探测EUV地面定标系统和国防特种材料UPS分析系统等。以“软X射线/极紫外无谐波光栅单色仪”为基础，在北京同步辐射光源13号厅研制建立了国际首条EUV无谐波束线。项目成果还分别服务于中科院-欧空局合作SMAIL计划、航天五院脉冲星导航有关项目、高能量密度物理研究中德某合作项目等等，发挥重要作用。