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【供需对接】高分辨率紫外光机
时间:2022.07.01


会员介绍:深圳光韵达光电科技股份有限公司(股票代码:300227)是国内先进电子制造行业的代表,是广东省激光行业协会创会会长单位、广东省3D打印行业协会副会长单位,激光精密切割、电路板精密钻孔等精密激光加工的龙头企业,是国内首家激光加工领域的上市公司。


产品名称: 高分辨率紫外光机

技术领域:光机电一体化

技术概况:主要用途:1. 微纳光固化3D打印;2. PCB、芯片载板 LDI激光直写系统;3. 半导体器件、MEMS器件光刻机;4. LCDOLED激光直写光刻机。 产品先进性:①本产品突破了传统光机通常只能实现200万像素的技术瓶颈,将曝光像素提升至接近1000万像素,约为传统光机分辨率的5倍; ②并将曝光机精度提升至2μm,大幅提升了激光直写在各领域的应用广泛度,为微纳3D打印、半导体器件激光直写均提供了部件基础; ③发挥高分辨率优势,实现了大幅面曝光,在于传统DLP光机保持同等精度的条件下,将曝光面增大4倍以上。

技术创新点:①本产品颠覆了传统DLP光机方案,突破了DLP光机多年止步于200万像素的技术瓶颈,采用全新方案实现高分辨率,解决了DLP光机依赖美国TI公司生产的DMD芯片的“卡脖子”问题,并在产品指标方面获得了大幅提升; ②本产品利用光学的偏振性质,对图像调制芯片、成像镜头、偏振光学元件、激光微分与叠加处理等光学元件进行了重新设计,形成整体优化; ③本产品利用偏振叠加和调制芯片反色显示方法,提升了一倍光利用效率。

技术指标:分辨率:4000×2400; 光学精度:2μm; 波长:405nm; 光功率密度:0~100mW/cm² 可调

实物照片:


光机图片


微米级点阵结构3D打印样品


10μm槽宽制造样品


70μm螺旋流道样品



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