一种用于双轴光学扫描的高性能MEMS微振镜。采用MEMS技术在硅衬底上形成镜面，通过电磁驱动实现水平扫描和垂直扫描。
英唐极光微8mmφ MEMS微振镜 工作示意图
Ø 电磁驱动原理
弗莱明左手定则 驱动原理
Ø MEMS微振镜结构
结构小巧轻量化
Ø 器件特性
・双轴一体型 ・小巧轻量化
・广域FOV(视场角) ・高可靠性
・低功耗 ・低驱动电压
・低串扰 ・内置角度传感器和温度传感器
Ø MEMS微振镜的应用
以MEMS微振镜在LiDAR（激光雷达）上的应用为例:
1. LiDAR系统配置（驱动）
2. LiDAR规格与MEMS规格的关系
Ø 规格参数
英唐极光微产品规格
其中：
1. 角分辨率
当 H轴的驱动频率与V轴的驱动频率的比值不等于整数时，相邻的两帧扫描轨迹会产生交错而不重合，如下图，当Freq_H /Freq_V改变时，两帧的扫描轨迹也产生改变，交错扫描的方式能够提高V轴方向的角度分辨率。
双倍帧率，带来点云密度的增加。
英唐 极光微8mm振镜 友商8mm振镜
3. 串扰VS激光点数
精确扫描可以增加点云密度。
相同的X坐标进行水平扫描往返，垂直方向的分辨率可以提高。因此，如果在水平扫描的往返过程中，将点云放在不同的X坐标处，可以提高垂直方向的分辨率。
英唐 极光微8mm振镜 友商8mm振镜
Ø MEMS微振镜与其他扫描方案对比
深圳市英唐极光微技术有限公司专注于MEMS微振镜的研发、制造、生产和销售。母公司英唐智控是深交所上市公司（股票代码300131），成立于2001年，是中国领先的半导体元器件综合解决方案供应商之一。
英唐极光微目前拥有自主研发和生产的1mm、4mm、8mm规格MEMS微振镜产品，以母公司英唐智控为依托，在日本拥有一支经验丰富的研发技术团队，自有IDM产线，具备MEMS微振镜产品的量产经验。
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