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2019.05.15
2019光电集成前沿技术研讨会
人们使用硅、III-V、氮化硅、或二氧化硅等作为材料平台来开发电子,光子,和光电子器件,并使用平面技术对它们进行小型化和集成,已经有了相当一段时间。其目的就是希望通过集成技术来提高基于不同平台的系统性能和降低成本。最终得到的结果却是各有所长和不足。本世纪初,高速,可靠,低成本的“硅基光电子器件”被开发出来并得到实际应用...
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